Introduction de matériaux innovants pour la réalisation de contacts pour les nœuds avancés
J-219
Doctorat Doctorat complet
- Disciplines
- Photonique
- Laboratoire
- Laboratoire Gravure Département des Plateformes Technologiques (LETI)
- Institution d'accueil
- UNIVERSITE GRENOBLE ALPES
Description
Les développements du module contact dans le cadre de FAMES mettent en évidences les limites atteintes par les dimensionnels adressés. Pour les nœuds sub 10nm, une approche en rupture est nécessaire pour pallier aux problèmes de sélectivité, auto alignement, capa parasite… Cette thèse se positionne sur le développement de nouveaux matériaux à gradient résolvant ces problèmes.Offre financée
- Type de financement
- CEA
Dates
Date limite de candidature 30/11/26
Durée36 mois
Date de démarrage01/10/26
Date de création16/01/26
Langues
Niveau de français requisAucun
Niveau d'anglais requisAucun
Possibilité de faire sa thèse en anglais
Divers
Frais de scolarité annuels391 € / an
Contacts
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